隔振台是一个隔振的工作面,通过高效的薄膜空气弹簧对周围的环境的振动进行隔离。水平控制器(机械气动阀)可以将水平精度保持在正/-1/100mm。
即使承载的载荷的变化的,也可以将水平精度自动保持在+/-1/10mm.空气调节装置还包括了聚水器和空气滤清器。
系统特性:垂直固有频率:大约2.5hz.1.5hz ,水平固有频率:大约2.5hz.2.5hz ,可调解,可滚动 ,刚性,焊接钢框假,带集成在台脚中的biair气动弹簧 ,机械气动控制器(水平精度+/-1/10mm和气动装置) 根据客户的要求,可以提供特殊尺寸,以及极低固有频率(垂直方向1.5hz,0.8hz)。
主动隔振系统ais应用领域 优秀隔振性能,用于存在高动态力,进行灵敏度测量和检验的设备,如平版印刷设备,激光设备,高分辨率电子显微镜,以及半导体设备。ais具有两个主要优势,一个优势是保护精密设备免受地面振动的影响;另一个优势是通过降低设备内部运动部件加速和减速时产生的高动态力造成的机构性振动现象来提高设备的使用精度。并且,通过降低沉降时间,从而减少设备在可以进行敏感运行前的延时,提高工作效率。
供应高精度花岗石光学隔振平台
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